สอบถามรายละเอียดจากลูกค้าไอซ่า
เราได้รับใบเสนอราคาผ่านทางเว็บไซต์ของบริษัทเมื่อเช้านี้ ลูกค้ามาจากตลาดเอเชีย และเขาสนใจในผลิตภัณฑ์ของเราเกี่ยวกับเป้าหมายการสปัตเตอร์ความถี่วิทยุโมลิบดีนัม (RF) ที่มีความบริสุทธิ์สูง
ข้อมูลจำเพาะของผลิตภัณฑ์ของลูกค้าคือเป้าหมายโลหะโมลิบดีนัมที่มีเส้นผ่านศูนย์กลาง 50.8 มม. (2 นิ้ว) หนา 5 มม. โดยมีความบริสุทธิ์ 99.95% (3N5)
รูปร่างเป้าหมายการสปัตเตอร์โมลิบดีนัมที่เขาถามนั้นเป็นเป้าหมายโมลิบดีนัมทรงกลมแบน มันเป็นรูปแบบรูปร่างที่พบบ่อยที่สุดของเป้าหมายทรงกลมโมลิบดีนัม
และคำขอความเรียบของเขาคือความเรียบน้อยกว่าหรือเท่ากับ 0.05 มม. และยังต้องการพื้นผิวการทำงานที่ราบรื่นเหมาะสำหรับการสปัตเตอร์แมกนีตรอน RF และไม่มีรอยแตก รูพรุนบนพื้นผิว หรือออกซิเดชันตามคำขอ
เราสามารถนำเสนอผลิตภัณฑ์เป้าหมายโมลิบดีนัมบริสุทธิ์อะไรบ้าง
• ความบริสุทธิ์: 3N5 (ความบริสุทธิ์ 99.95%) - 4N (ความบริสุทธิ์ 99.99%)
- Mo1: มากกว่าหรือเท่ากับ 99.95% Mo (3N5) หลักที่ใช้ในอุตสาหกรรม เช่น จอแสดงผล / เซลล์แสงอาทิตย์ / การเคลือบทั่วไป
- Mo2: มากกว่าหรือเท่ากับ 99.9% Mo (3N) ใช้หลักเพื่อความคุ้มค่า-สำหรับการเคลือบทั่วไป / ฟิล์มตกแต่ง
- Mo3: มากกว่าหรือเท่ากับ 99.5% Mo (2N5) ใช้กันอย่างแพร่หลายสำหรับการสมัคร-ขั้นต่ำ/การวิจัย
- บริสุทธิ์สูง / ความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษ (โมลิบดีนัม 4N : 99.99%) ใช้เป็นหลักสำหรับเซมิคอนดักเตอร์ / OLED / ฟิล์มที่มีความแม่นยำสูง-
คุณสมบัติทางกายภาพขั้นพื้นฐาน (สำคัญที่สุด)
• ความหนาแน่น: 10.2 g/cm³ (ตามทฤษฎี) รูขุมขนน้อย ไม่ง่ายที่จะผลิต 'การพ่นผง' และการคายประจุที่ผิดปกติ (ส่วนโค้ง)
• จุดหลอมเหลว: 2,620 องศา มีความเสถียรทางความร้อนอย่างมาก และไม่เสียรูปง่ายระหว่างการสปัตเตอร์ด้วยการยึดเกาะที่แข็งแรง
• ค่าการนำความร้อน: 138–142 W/(m·K) กระจายความร้อนได้รวดเร็ว และเหมาะสำหรับการสปัตเตอร์กำลังสูง-
• ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวเนื่องจากความร้อน: ~4.9×10⁻⁶ / องศา ต่ำมาก และอาจส่งผลให้เกิดการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิและความเสถียรของมิติน้อยที่สุด
• ความต้านทาน: ~5.2 μΩ·cm การนำไฟฟ้าที่ดีมากและการอาร์คที่เสถียร
• ความต้านแรงดึง ~540 MPa
. ความแข็งของวิกเกอร์ส ~250 HV พร้อมกระบวนการความเหนียวและข้อดีของฟิล์มบาง
• กำหนดเป้าหมายเกรนที่ 50–100 μm รับรองว่ามีการกัดเซาะสปัตเตอร์สม่ำเสมอและมีการไหลของอนุภาคน้อยที่สุด
ความทนทานต่อขนาดปกติสำหรับผลิตภัณฑ์ของเราจะแตกต่างกันไปตามเส้นผ่านศูนย์กลางที่แตกต่างกันดังนี้
| เส้นผ่านศูนย์กลาง | ความหนา |
| φ25.4(1") | 2/3 |
| φ50.8(2") | 3/5 |
| φ76.2(3") | 3/4/5 |
| φ101.6 | 4/5/6 |
| φ150 | 5/6/8 |
| φ200 | 6/8/10 |
โปรดทราบ: φ300 - ความหนา 8/10/12 มม. หรือปรับแต่งเอง
ความคลาดเคลื่อนมิติ (GB/T 14592-2014 + มาตรฐานอุตสาหกรรม)
| ช่วงเส้นผ่านศูนย์กลาง | ความทนทานต่อเส้นผ่านศูนย์กลาง (มม.) |
| φ10-30 | ±0.10 |
| φ30-50 | ±0.14 |
| φ50-80 | ±0.16 |
| φ80-300 | ±0.20 |
Please note : >φ300: ±0.30 (ต่อรองได้)
ความคลาดเคลื่อนของรูปแบบและตำแหน่ง (สำคัญอย่างยิ่ง ส่งผลต่อความสม่ำเสมอของการสปัตเตอร์)
• ความเรียบของแผ่นโมลิบดีนัม: น้อยกว่าหรือเท่ากับ 0.03 มม./100 มม. (ปลายสูง-); น้อยกว่าหรือเท่ากับ 0.1 มม./100 มม. (มาตรฐาน)
• ความกลม: น้อยกว่าหรือเท่ากับ 0.05 มม
• ความขนาน: น้อยกว่าหรือเท่ากับ 0.05 มม
ความหยาบผิวโมลิบดีนัมบริสุทธิ์
• มาตรฐาน: Ra น้อยกว่าหรือเท่ากับ 0.8 μm
• สูง-สิ้นสุด: Ra น้อยกว่าหรือเท่ากับ 0.4 μm (ข้อกำหนดด้านเซมิคอนดักเตอร์ / ความสม่ำเสมอสูง)
คำถามที่พบบ่อย
ยกเว้นเป้าหมายการสปัตเตอร์โมลิบดีนัมที่คุณสามารถจัดหาได้ วัสดุอื่น ๆ สามารถทำได้ ?
ใช่ เรามีทังสเตน โมลิบดีนัม ไทเทเนียม แทนทาลัม ไนโอเบียม เซอร์โคเนียม นิกเกิล ฯลฯ โลหะที่ไม่ใช่เหล็ก
