มีความสำคัญเพียงใดแท่งโมลิบดีนัมสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ความเสถียรของมิติ?
ในเวิร์กช็อปการเติบโตของซิลิกอนโมโนคริสตัลไลน์หรือแซฟไฟร์ กระบวนการวาดคริสตัลมักใช้เวลาหลายสิบหรือหลายร้อยชั่วโมง และสนามอุณหภูมิจะต้องได้รับการควบคุมอย่างแม่นยำเหนือ 1,400 องศา เมื่อส่วนประกอบของสนามความร้อนมีการเสียรูปแม้แต่ 0.5 มม. เส้นผ่านศูนย์กลางของคริสตัลอาจผันผวน ความหนาแน่นของการเคลื่อนที่อาจเพิ่มขึ้น และอัตราผลตอบแทนจะลดลงโดยตรง สิ่งที่น่าปวดหัวที่สุดสำหรับวิศวกรหลายคนไม่ใช่การแตกกะทันหัน แต่เป็นการคืบคลานที่ "มองไม่เห็น" และความร้อนสะสม
ในหมู่พวกเขา แท่งโมลิบดีนัมถูกใช้เป็นวัสดุโครงสร้างหลักของแท่งรองรับสนามความร้อน ที่หนีบคริสตัลเมล็ดพืช หรือส่วนประกอบที่ให้ความร้อน และความเสถียรของมิติ-ความร้อนต่ำและอุณหภูมิสูง-ของแท่งเหล่านี้ได้กลายเป็นปัจจัยชี้ขาด ค่าสัมประสิทธิ์ความร้อนของโมลิบดีนัมนั้นต่ำมาก แต่ประสิทธิภาพของแท่งโมลิบดีนัมที่มีความบริสุทธิ์และเทคโนโลยีการประมวลผลต่างกันจะแตกต่างกันอย่างมากภายใต้-อุณหภูมิสูงและสุญญากาศในระยะยาว แท่งโมลิบดีนัมเผาผนึกธรรมดามีแนวโน้มที่จะเกิดการยืดตัวในระดับจุลภาค-ซึ่งเกิดจากการเจริญเติบโตของเกรนหลังจากรอบการให้ความร้อนซ้ำๆ ในขณะที่แท่งโมลิบดีนัมที่มีความบริสุทธิ์สูง-ซึ่งผ่านการตีขึ้นรูปหลายทิศทาง-และการอบอ่อนที่อุณหภูมิสูง-จะมีการวางแนวของเกรนที่สม่ำเสมอมากกว่าและความต้านทานการคืบคลานที่ดีขึ้นอย่างมีนัยสำคัญ การเสียรูปสะสมจะถูกควบคุมภายในช่วงที่น้อยมาก
เราใช้โรงงานที่ผลิตแท่งคริสตัลแซฟไฟร์ขนาด 6- นิ้ว ในสมัยแรกๆ มีการใช้แท่งรองรับโมลิบดีนัมแบบธรรมดา สนามความร้อนจะต้องได้รับการปรับเทียบทุกๆ สองสามคริสตัลที่ดึงออกมา และอัตราผลตอบแทนจะอยู่ที่ประมาณ 65% ต่อมา หลังจากเปลี่ยนแท่งโมลิบดีนัมเกรดเซมิคอนดักเตอร์ด้วยโครงสร้างเกรนที่ปรับให้เหมาะสมของเราแล้ว เวลาในการดึงอย่างต่อเนื่องในเตาเผาเดี่ยวก็ถูกขยายออกไป ความผันผวนของสนามความร้อนลดลงอย่างมีนัยสำคัญ ความสม่ำเสมอของเส้นผ่านศูนย์กลางของคริสตัลที่เสร็จแล้วได้รับการปรับปรุง และผลผลิตโดยรวมก็เพิ่มขึ้นเกือบ 15 เปอร์เซ็นต์ การเปลี่ยนส่วนประกอบน้อยลงและการปรับพารามิเตอร์น้อยลงไม่เพียงแต่ช่วยลดต้นทุนเท่านั้น แต่ยังรวมถึงความเสถียรของจังหวะการผลิตอีกด้วย
เหตุใดประเด็นนี้จึงสำคัญมาก? เนื่องจากการเติบโตของผลึกเซมิคอนดักเตอร์เป็นกระบวนการทั่วไปของ "การทำงานที่ช้าและงานละเอียด" การเบี่ยงเบนขนาดเล็กใดๆ จะถูกขยายผ่านการไล่ระดับอุณหภูมิ และในที่สุดก็สะท้อนให้เห็นในข้อบกพร่องของคริสตัล แท่งโมลิบดีนัมคุณภาพสูง-ช่วยลดความเสี่ยงของการเบี่ยงเบนนี้ ช่วยให้วิศวกรกระบวนการมุ่งเน้นไปที่ความเร็วและการควบคุมการหล่อได้อย่างมั่นใจมากขึ้น แทนที่จะกังวลเกี่ยวกับการเสียรูปของโครงสร้าง
ในระยะที่รวดเร็วในปัจจุบันของ-ผลึกขนาดใหญ่และวัสดุเซมิคอนดักเตอร์รุ่นที่สาม- ข้อกำหนดสำหรับความเสถียรของอุปกรณ์จะสูงขึ้นเรื่อยๆ เท่านั้น แท่งโมลิบดีนัมที่ไม่มีความแตกต่างบนพื้นผิวอาจเป็นตัวกำหนดจำนวนเวเฟอร์ที่มีคุณสมบัติเหมาะสมที่ผลิตได้ในแต่ละเดือน
หากคุณกำลังบำรุงรักษาอุปกรณ์การเติบโตของคริสตัลแบบเดี่ยว- อัปเกรดสนามความร้อน หรือการเลือกโครงการใหม่ โปรดบอกฉันเกี่ยวกับความเสถียรของสนามความร้อนหรือปัญหาของคริสตัลที่คุณกำลังเผชิญอยู่ เราสามารถรวมเส้นโค้งอุณหภูมิเฉพาะและโครงสร้างอุปกรณ์เพื่อให้วัสดุแท่งโมลิบดีนัมที่ตรงเป้าหมายมากขึ้นและคำแนะนำในการประมวลผลเพื่อช่วยควบคุมอันตรายจากการเสียรูปที่ซ่อนอยู่ "ที่มองไม่เห็น" ได้อย่างสมบูรณ์
ปรับเสถียรภาพของสนามความร้อน แล้วคริสตัลจะเติบโตได้ดีตามธรรมชาติ-นี่คือจุดมุ่งเน้นของการลงทุนในแท่งโมลิบดีนัมเซมิคอนดักเตอร์
เอวา
